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第九三九章 光刻机的现状(第1/2 页)

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八五年,机电部(如今的工y部)45所研制成功分步光刻机样机,中k院沪海光学精密机械研究所研制的“扫描式投影光刻机“通过鉴定,采用的都是436

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